MF-VO系列無(wú)氧真空烘箱設(shè)備是專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用來(lái)滿(mǎn)足半導(dǎo)體行業(yè)集成電路配套烘箱,它具有先進(jìn)的設(shè)計(jì)理念與工藝技術(shù),可得到質(zhì)量?jī)?yōu)異的品質(zhì)。
用途特點(diǎn):
本產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體大芯片的加工,面板,模組組件等負(fù)壓除泡工藝。用于去除粘接過(guò)程中產(chǎn)生的氣泡。本烘箱采用先真空除泡后無(wú)氧加熱。
技術(shù)特點(diǎn):
采用超高真空泵與超高真空比列閥完全控制整個(gè)過(guò)程中真空度;
多重壓力保護(hù)及安全裝置設(shè)計(jì);
可視化窗口設(shè)計(jì)。
過(guò)程控制:
多段式程序控制,真空值、溫度、時(shí)間完全按照程序設(shè)定運(yùn)行,完全滿(mǎn)足現(xiàn)場(chǎng)各種工藝需求;
與配套AUTORECIPE軟件,實(shí)時(shí)溫度、壓力、時(shí)間監(jiān)控軟件,可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品烘箱運(yùn)行參數(shù)管理與生產(chǎn)運(yùn)行記錄、烘箱操作日志等,提高生產(chǎn)效率、控制產(chǎn)品品質(zhì)。
設(shè)備特點(diǎn):
溫度均勻度依照GBT30435-2013;
設(shè)備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標(biāo)準(zhǔn)
提供高性?xún)r(jià)比的烤箱性能。溫度均勻性、溫度穩(wěn)定性、溫升速率、溫度恢復(fù)時(shí)間等工藝條件;
滿(mǎn)足SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體封裝測(cè)試設(shè)備接口,工廠軟件可通過(guò)其SECS/GEM接口對(duì)烘箱進(jìn)行全面控制和監(jiān)控;
提供相應(yīng)的烘箱噪音檢測(cè)、表面SGS檢測(cè);
配套完成的產(chǎn)品使用手冊(cè)及說(shuō)明。
型號(hào) | MF-VO**** | ||||
1400 | 1500 | 2400 | 2500 | ||
循環(huán)系統(tǒng) | 熱輻射系統(tǒng) | ||||
性能參數(shù) | 溫度范圍 | RT. + 25°C~250°C | |||
溫度波動(dòng)范圍 | (100-200℃)<±5℃ | ||||
真空范圍 | 100KPa~0.1KPa | ||||
升溫時(shí)間 | <60Min(175℃)& < 80Min(200℃) | ||||
烘箱結(jié)構(gòu) | 烘箱外腔體選材 | 烤漆、不銹鋼 | |||
烘箱內(nèi)腔體選材 | SUS304 | ||||
保溫材料 | 高密度陶瓷纖維棉 | ||||
加熱 | 不銹鋼加熱管 | ||||
冷卻方式 | 氮?dú)廨o助/自然冷卻/水冷卻 | ||||
內(nèi)腔尺寸W *H *D (mm) | 400 *500* 400 | 500 *550 * 500 | 400 *500* 400 | 500 *550 * 500 | |
使用環(huán)境 | 溫度范圍: 小于 + 45°C 濕度范圍: 小于 75%rh | ||||
真空泵 | 單級(jí)油封式旋片真空泵 | ||||
動(dòng)力配置 | 電源配置 | AC380V3PH | AC380V3PH | AC380V3PH | AC380V3PH |
烘箱功率 | 12KVA | 12KVA | 22KVA | 22KVA |
基本功能配置:
漏電保護(hù)器;
加熱保險(xiǎn)絲;
電源缺相保護(hù);
超溫保護(hù)器;
低溫保護(hù)器;
腔體排氧裝置;
腔體手動(dòng)泄壓閥;
腔體內(nèi)照明;
加熱及冷卻隔板;
腔體高低壓檢測(cè)裝置;
真空泵散熱及排氣回路;
功能選配:
N2流量檢測(cè);
高低溫聯(lián)動(dòng)檢測(cè);
腔體壓力檢測(cè);
自動(dòng)泄壓閥;
服務(wù)熱線:021-64307580