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用途特點(diǎn)：

本產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體大芯片的加工，面板，模組組件等負(fù)壓除泡工藝。用于去除粘接過(guò)程中產(chǎn)生的氣泡。本烘箱采用先真空除泡后無(wú)氧加熱。

技術(shù)特點(diǎn)： 

采用超高真空泵與超高真空比列閥完全控制整個(gè)過(guò)程中真空度;

多重壓力保護(hù)及安全裝置設(shè)計(jì)；

可視化窗口設(shè)計(jì)。

過(guò)程控制：

多段式程序控制，真空值、溫度、時(shí)間完全按照程序設(shè)定運(yùn)行，完全滿(mǎn)足現(xiàn)場(chǎng)各種工藝需求；

與配套AUTORECIPE軟件，實(shí)時(shí)溫度、壓力、時(shí)間監(jiān)控軟件，可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品烘箱運(yùn)行參數(shù)管理與生產(chǎn)運(yùn)行記錄、烘箱操作日志等，提高生產(chǎn)效率、控制產(chǎn)品品質(zhì)。

設(shè)備特點(diǎn)：

溫度均勻度依照GBT30435-2013；

設(shè)備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標(biāo)準(zhǔn)

提供高性?xún)r(jià)比的烤箱性能。溫度均勻性、溫度穩(wěn)定性、溫升速率、溫度恢復(fù)時(shí)間等工藝條件；

滿(mǎn)足SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體封裝測(cè)試設(shè)備接口，工廠軟件可通過(guò)其SECS/GEM接口對(duì)烘箱進(jìn)行全面控制和監(jiān)控；

提供相應(yīng)的烘箱噪音檢測(cè)、表面SGS檢測(cè)；

配套完成的產(chǎn)品使用手冊(cè)及說(shuō)明。

基本功能配置：

漏電保護(hù)器；

加熱保險(xiǎn)絲；

電源缺相保護(hù)；

超溫保護(hù)器；

低溫保護(hù)器；

腔體排氧裝置；

腔體手動(dòng)泄壓閥；

腔體內(nèi)照明；

加熱及冷卻隔板；

腔體高低壓檢測(cè)裝置；

真空泵散熱及排氣回路；

功能選配：

N2流量檢測(cè)；

高低溫聯(lián)動(dòng)檢測(cè)；

腔體壓力檢測(cè)；

自動(dòng)泄壓閥；