MF-AO系列自動烘箱是專門設計用于半導體集成電路自動化生產線,與現場AGV,ROBOT等自動化配合,實現無人操作,安全生產。
用途特點:
本產烘箱品適用于半導體加工,LCD面板,PDP面板,觸摸屏等生產工藝。
技術特點:
自動化操作系統滿足現場無人操作的需求,自動開關門系統完全融入工廠自動化系統中,根據遠程指令動作及反饋;
更加安全的烘箱,自動門狀態、動作聯鎖及多重保護措施,避免了系統間干涉出現;
烘箱采用雙門設計,自動門實現自動生產,手動門進行保養與應急生產。腔體采用全不銹鋼鏡面,并且為整體式焊接工藝,保證了烘箱在運行時的腔體內清潔和預防了產品表面的沾污;整體框架設計能與外部輸送設備機構聯動,保證動作一致性。
過程控制:
烘箱加熱采用多段式程序控制,完全滿足現場各種工藝需求;
與工廠MES,CIM,EAP等配套軟件使用,可實現烘箱溫度監控,產品運行參數管理與生產運行記錄。
設備特點:
可以提供各種標準和非標準腔體設計,包括溫度范圍,容量大小和烘箱形狀等;
溫度均勻度依照GBT30435-2013;
設備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標準
提供高性價比的烤箱性能。溫度均勻性、溫度穩定性、溫升速率、溫度恢復時間等工藝條件;
滿足SECS/GEM標準的半導體封裝測試設備接口,工廠軟件可通過其SECS/GEM接口對烘箱進行全面控制和監控;
提供相應的檢測報告,烘箱溫度校正報告、烘箱噪音檢測、烘箱表面SGS檢測等;
配套完整的產品使用手冊及說明。
型號 | MF-AO****W/A | ||
1640 | 2640 | ||
循環系統 | 熱風循環系統 | ||
性能參數 | 溫度范圍 | RT. + 25°C~250°C | |
溫度波動范圍 | (0-100℃)<±1℃(100-200℃)<±2℃ | ||
溫度均勻性 | (0-100℃)<1℃(100-200℃)<2℃ | ||
升溫時間 | < 30Min(175℃)& < 40Min(200℃) | ||
烘箱結構 | 烘箱外腔體選材 | 烤漆板、不銹鋼 | |
烘箱內腔體選材 | SUS304 | ||
保溫材料 | 高密度陶瓷纖維棉 | ||
加熱 | 無塵加熱絲或不銹鋼加熱管 | ||
冷卻方式 | 水冷卻、風冷卻、多段式冷卻 | ||
內腔尺寸W *H *D (mm) | 640 *640* 1100 | 640 *640 * 550 | |
外形尺寸W * H *D (mm) | 1700 * 1100 * 1840 | 1800* 1100 * 2040 | |
容積 (L) | 160 | 450 | |
使用環境 | 溫度范圍: 小于 + 45°C 濕度范圍: 小于 75%rh | ||
動力配置 | 電源配置 | AC380 3PH | AC380 3PH |
烘箱功率 | 13KVA | 20KVA |
基本功能配置:
漏電保護器;
電磁門鎖;
加熱保險絲;
電源缺相保護;
超溫保護器;
低溫保護器;
加熱器防干燒保護;
馬達轉速檢測保護;
UPS;
壓縮空氣檢測;
N2流量檢測;
水流量檢測;
功能選配:
腔體氧含量在線檢測;
高低溫聯動檢測;
腔體壓力檢測;
自動排風閥;
廢氣沉淀回收裝置;
腔體空燒排污;
腔體內除塵過濾網裝置;